Elle offre une zone de mesure de 305 mm x 305 mm (12″ x 12″), la meilleure de sa catégorie, pour des pièces allant jusqu’à 222 mm (8,75″) de hauteur. Un multi-collimateur motorisé permet de sélectionner différentes tailles de spots, tandis qu’une caméra à mise au point variable prend en charge des distances focales de 6,35 mm à 89 mm (0,25″ à 3,5″).

Une platine programmable à moteur servo assure un positionnement rapide et précis. La porte en porte-à-faux facilite l’accès à l’échantillon, et la fonction de visualisation « table view » permet de naviguer en un clic sur toute la zone mesurable. Un joystick intégré en option permet de contrôler manuellement la platine XY depuis le panneau avant, sans utiliser le logiciel.

Le système standard comprend un collimateur à 4 positions (4, 8, 12 et 24 mil), avec des tailles en option de 2x2 mil à 60 mil. La mise au point variable permet de mesurer des zones en retrait, et la précision de la platine atteint 10,2 µm (400 µin), avec reconnaissance de formes et mise au point automatique. Le système inclut un détecteur SDD et un tube à rayons X micro-focus longue durée.

La série K est conforme aux normes ASTM B568, ISO 3497 et IPC-4552.

Pour l’analyse de très petites caractéristiques, la série K est également disponible avec une optique poly-capillaire, dotée d’une optique de 15 µm FWHM, d’un détecteur LSDD et d’une platine de haute précision améliorée, avec une précision inférieure à 2 µm (80 µin). Une caméra à fort grossissement (140x) avec zoom numérique avancé, associée à une caméra secondaire à faible grossissement, permet une navigation fluide et un ciblage précis. En raison de la faible distance focale de l’optique, les échantillons doivent être plats.